熱式氣體質(zhì)量流量控制器在各大特殊加工行業(yè)中都是廣泛應(yīng)用的，今天就主要聊聊LF系列的熱式氣體質(zhì)量流量控制器在金剛石加工中的應(yīng)用情況。

　　ALICAT氣體質(zhì)量控制器(流量計(jì))由質(zhì)量流量傳感器，分流器通道，流量控制調(diào)節(jié)閥和放大控制電路等部件組成。本流量控制器利用流動(dòng)流體傳遞熱量改變測量毛細(xì)管壁溫度分布的熱傳遞分布效應(yīng)而制成，即熱分布式流量計(jì)，采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質(zhì)量流量，可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號(hào)進(jìn)行放大，然后與設(shè)定的電壓進(jìn)行比較，用所得的差值信號(hào)去驅(qū)動(dòng)控制調(diào)節(jié)閥門，通過閉環(huán)，去控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。通過氣體質(zhì)量流量控制器DB9針接線端子中閥控信號(hào)線對(duì)氣體質(zhì)量流量控制器進(jìn)行清洗和關(guān)閉操作，當(dāng)接線至電源正極時(shí)，氣體質(zhì)量流量控制器為清洗狀態(tài)，電磁調(diào)節(jié)閥強(qiáng)制*打開，此時(shí)流量輸出不準(zhǔn)確，僅僅作為清洗通道作用，但不可將閥控信號(hào)長期至于清洗狀態(tài)，以免電磁閥發(fā)熱過度導(dǎo)致?lián)p壞。當(dāng)接線至電源負(fù)極時(shí)，氣體質(zhì)量流量控制器為關(guān)閉狀態(tài)，電磁調(diào)節(jié)閥強(qiáng)制關(guān)閉。

　　ALICAT氣體質(zhì)量控制器主要是控制氣體的火焰，通過改變流量來對(duì)火焰進(jìn)行控制，從而對(duì)合成金剛石的產(chǎn)生影響。